N型太阳能电池Al2O3薄膜钝化性能研究

的开压和短路电流都逐渐上升，说明Al2O3的钝化效果随着其膜厚的增加而增加。即使是Al2O3薄膜在1.5nm时，仍表现出较好的钝化性能。说明原子层沉积法制备的超薄Al2O3膜可以运用于工业级太阳能电池的钝化。 4结语 本文将Al2O3薄膜用于N型电池的硼发射极表面钝化取得了良好的效果。通过对比不同ALD条件下Al2O3薄膜的钝化效果，发现可以在很宽的反应条件下制备Al2O3薄膜并不会对其钝化性能产生较大影响。实验发现通过热原子层沉积法制备的超薄Al2O3薄膜，即使在1.5nm时仍能获得良好的钝化效果。 参考文献 [1]J.Schmidt，F.Werner，B.Veith，D.Zielke，R.Bock，V.Tiba，P.Poodt，F.Roozeboom，T.T.A.Li，A.Cuevas，R.Brendel．IndustriallyrelevandAl2O3depositiontechniquesforthesurfacepassivationofSisolarcells．2010. [2]P.Vitanov，etal．ThinSolidFilms5176327-6330．2009. [3]T.-T.Li，etal．Phys.StatusSolidiRRL3160-162．2009. [4]F.Werner，B.Veith，V.Tiba，P.Poodt，F.Roozeboom，R.Brendel，J.Schmidt．AppliedPhysicsLetters，2010，97．